金刚石MRR 8.2 μm/h
机械化学协同去除，实现单晶金刚石高效抛光与原子级表面。
Yongkang, Xin · 陆静 · Yikun, Hu · Huang, Shaofeng · 李东旭 · Luo, Qiufa · 柯聪明 · Xipeng, Xu
Applied Surface Science 2025