微胶囊相变浆料

切割温变小

一种用于金刚石线锯切硅片的冷却液，利用相变微胶囊储热，使切割区温度梯度更小。

姚春燕 · Xiang, Yu · Lei, Feng · Fanyue, Wang · Wang, Minghuang Huan · 袁巧玲

Journal of Manufacturing Processes 2024

参数信息

硅片翘曲减少

60.3 %

表面粗糙度降低

30 %

技术优势

翘曲减少六成

浆料中的相变微胶囊吸收切割热，使切割区温度梯度更小，硅片翘曲较水基冷却液减少约60.3%。

粗糙度降三成

同样得益于温度梯度缩小，切割后的硅片表面粗糙度较水基冷却液下降30%。

3 wt%效果最佳

不同质量分数的浆料实验中，3 wt%浆料表现出最优的切割性能。

传热能力增强

实验测得浆料的对流换热系数和努塞尔数提高，PCM颗粒有效增强了工作区冷却液的传热。

应用场景

• 硅片切割：用作金刚石线锯切冷却液，降低翘曲和粗糙度。
• 精密加工冷却：相变储热冷却，控制切割区温度梯度。
• 半导体晶圆制造：提升硅片切割质量，降低翘曲和表面损伤。
• 热管理流体：作为热管理流体，增强传热并稳定切割温度。