微结构表面非接触可控抛光
利用剪切增稠流体实现微结构表面的非接触可控抛光，克服传统方法对微结构表面的损伤和衍射问题。
Zhu, Zihui · 黄鹏 · To, S. · 朱利民 · Zhu Z.
International Journal of Machine Tools and Manufacture 2023
快速刀具伺服通过调整间隙宽度改变剪切增稠流体的粘度和应力场，从而在任意位置控制材料去除率，实现定点定量抛光。
利用剪切增稠流体的流变特性实现材料去除，抛光工具与工件表面不发生硬接触，避免机械刮擦对微结构形貌的破坏。
该方法可抛光旋转对称和非对称微结构表面，在改善表面光滑度的同时保持原有形貌，解决了传统方法难以加工非对称自由曲面的问题。