高频解耦高分辨
采用宏纤维复合材料驱动，集成驱动与机构于一体，三轴并联解耦，位移分辨率达纳米级，固有频率高，从源头抑制微振动，适合携带柔性结构的精密操作。
Zi-xuan, Yu · Le-xiao, Huangfu · 杨依领 · Shun-shun, Wang · Wu, Gaohua · 崔玉国
Engineering Science and Technology, an International Journal 2025
采用宏纤维复合材料直接驱动，省去传统驱动传动链，结构紧凑。
平台具有三自由度并联解耦结构，最大耦合比仅0.599%，各轴运动互不干扰。
将振动抑制转化为速率饱和问题，从根源避免携带柔性结构的微纳振动。
位移分辨率达到9.86 nm × 10.11 nm × 9.85 nm，适用于高精度操作。