铝用近中性抛光液

原子级光滑面

近中性新型绿色抛光液,以12.56 μm/h的高去除率在铝合金上实现粗糙度0.231 nm的原子级光滑表面。

张振宇 · 周红秀 · 陈雷雷 · 邓星桥 · Zhuang, Xuye · Yang, Gu

Nanoscale 2025

参数信息

表面粗糙度
0.231 nm
材料去除率
12.56 μm/h
损伤层厚度
6.9 nm

技术优势

表面无损伤

透射电镜证实损伤层仅6.9 nm,表明抛光过程对表层晶体结构影响极小。

去除率创新高

在获得原子级表面的同时,材料去除率达12.56 μm/h,是同类表面粗糙度下已报道的最高值。

近中性绿色配方

抛光液pH为6,由二氧化硅、氧化镨、过氧化氢、三乙醇胺和烟酸组成,避免强酸强碱带来的腐蚀和废液处理问题。

机理明确可复制

XPS和FTIR证明铝合金被过氧化氢氧化生成氧化铝和氢氧化铝,溶解为Al3+后被烟酸和三乙醇胺螯合,据此提出了螯合反应式。

应用场景