二维半导体图案化晶片

原子级洁净孔阵

激光诱导缺陷结合各向异性热蚀刻，在双层WS2中实现高质量周期性孔阵与纳米带，边缘原子级洁净且晶体无损。

Liu, Miaomiao · Huang, Ziwei · Yukun, Guo · Zhang, Zhengwei · Zhang, Liqiang · Zhang, Hongmei · Jiang, Zhong · Shanhao, Li · Deng, Wei · Di, Wang · Li, Wei · Huangfu, Ying · Yang, Xiangdong · 段曦东

InfoMat 2023

技术优势

孔阵排列、孔径和密度可控

边缘原子级洁净

未蚀刻区域晶体无损伤

可制备纳米带和周期性三角阵列