喷射电沉积喷嘴装置

兆声提升传质降残余应力

集成同轴兆声搅拌，显著强化液相传质并降低镀层残余应力，有别于传统喷射电沉积装置。

Zhai, Ke · Wang, Yifan · 方立德 · 杜立群

Ultrasonics Sonochemistry 2024

参数信息

传质系数提升

18.63 m/s

残余应力

94.3 MPa

技术优势

传质提升40倍

在20 W/cm²兆声功率密度下，传质系数从0.45×10⁻⁷ m/s提升至18.63×10⁻⁷ m/s，大幅缓解浓差极化。

残余应力降37.7%

10 W/cm²兆声辅助下，镀层残余应力为94.3 MPa，较无兆声的151.5 MPa显著降低，减少变形开裂风险。

应用场景

• 电铸加工：降低电铸件残余应力，减少变形开裂，提升尺寸精度和良率。
• 微纳电镀：强化微纳尺度传质，确保高深宽比结构均匀填充。
• 精密电镀：降低沉积应力，稳定镀层质量，满足精密电镀低缺陷要求。