超声振动辅助研磨头

去除率升五成

引入超声振动促进界面固相反应，在提高材料去除效率的同时降低表面粗糙度，为硬脆材料精密加工提供新手段。

Gen, Chen · 胡中伟 · Kun, Shi · Zhang, Yuqiang · Cai, Xintian · Peng, Qing

Journal of Manufacturing Processes 2026

参数信息

材料去除效率提升

10.27%–53.45% %

表面粗糙度降低

17.84%–21.91% %

技术优势

去除效率大增

超声振动提供额外能量输入，促进界面固相反应，使材料去除效率提高10.27%–53.45%。

表面更光滑

相同的超声辅助作用下，表面粗糙度较CMG降低17.84%–21.91%，减少后续抛光工作。

磨削力降低

超声振动改变了材料去除机制，实测磨削力低于传统CMG，有利于降低工件损伤。

应用场景

• 蓝宝石精密加工：用于蓝宝石窗口和衬底的高效精密磨削，提高表面质量。
• 硬脆材料研磨：适用于陶瓷、玻璃等硬脆材料的低损伤研磨。
• 精密/超精密加工：作为精密加工手段，替代传统研磨以提升效率和表面完整性。