单晶氮化镓衬底

延性磨削零损伤

通过金刚石磨削实现单晶氮化镓的延性去除，避免脆性剥落，获得高质量衬底。

吴跃勤 · Qijian, Rao · Zhiyuan, Qin · Tan, Shuiping · Guoqin, Huang · 黄辉 · Xipeng, Xu · Huang, Han

International Journal of Machine Tools and Manufacture 2024

参数信息

磨料粒度（延性去除阈值）

6000 mesh

磨料粒度（脆性去除阈值）

2000 mesh

技术优势

实现延性去除

使用6000目金刚石磨料时，材料以延性模式去除，避免了脆性断裂，从而获得高质量表面。

c面剥落与砂轮转速相关

提高砂轮转速会加剧c面剥落，这是因为更高的转速增大了切向磨削力，从而促进平面缺陷的萌生。

剥落仅限于c面

剥落现象只沿c面发生，而在m面和a面上未观察到，表明c面是优先滑移/开裂面。

应用场景

• 氮化镓衬底加工：用6000目金刚石磨料实现延性去除，避免脆性剥落，直接获得可外延生长的光滑表面。
• 光电材料衬底：加工过程不引入亚表面损伤，提高衬底质量，从而提升光电器件性能和良率。
• 精密磨削技术：通过控制磨料粒度和砂轮转速，调控磨削力，实现延性域加工。