异步双足压电驱动器

磁兼容高精驱动

专为强磁场环境设计，双足异步驱动显著提升速度与负载能力，同时保证纳米级定位精度。

王睿

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

最大速度

8.98 mm/s

最大负载

4.5 N

位移分辨率

19 nm

技术优势

强磁场环境下磁兼容性优越