钛掺杂HZO铁电薄膜

1×10¹⁰次循环不失效

通过钛掺杂钉扎氧空位，在保持高铁电极化的同时将抗疲劳性提升数个数量级，解决了氧空位稳定铁电相与导致疲劳的矛盾。

Mingsheng, Ma · Li, Yunpeng · Xi-Yu, Tao · Borui, Wang · Wang, Junhui · 廖佳佳 · Hejun, Xu · Xie, Rubin · Yinquan, Wang · 周益春 · 廖敏

Nano Letters 2026

参数信息

耐受

1 × 10¹⁰ 次

技术优势

8 mol% Ti掺杂的Hf₀.₅Zr₀.₅O₂薄膜