AlOx覆盖层铪铝氧薄膜

3V极化增强，耐久提升

AlOx覆盖层工程同时提升铁电与反铁电铪铝氧化物薄膜的极化和耐久性，通过减少电荷缺陷相互作用与界面畴钉扎实现。

Chen, Hsuanhan · Hsu, Hsiaohsuan · Liao, Ruoyin · Chou, Wuching · Cheng, Chunhu

Ceramics International 2026

参数信息

值达

28.8 μC/cm²

掺杂

3 %

技术优势

耐久性提升（归因于AlOx覆盖层降低带电缺陷相互作用）