无线馈电电容电极

纳米并行放电

将电极分割为近无穷单元，通过静电感应无线馈电，实现大尺寸晶片的纳秒级并行放电整平。

赵永华

Journal of Manufacturing Processes 2024

参数信息

单脉冲内实现

>33 次

最小放电能量

0.312 μJ

英寸晶片加工速度

0.5 μm/min

技术优势

表面粗糙度 Ra 42 nm