高去除率埃表面
以溶解丝增稠的二氧化铈绿色抛光液，在石英玻璃上同时实现原子级表面与高材料去除率，且可生物降解。
Liu, Lu · 张振宇 · Shi, Chunjing · 邓星桥 · 周红秀 · Feng, Junyuan · Xiuqing, Liu · Xiaoyu, Liu · Wei, Wen
Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 2024
在20×20 µm²扫描区域测得Sa为0.08 nm，为报道过的石英玻璃最低值。
高MRR与低粗糙度同时实现，打破传统效率与质量的矛盾。
溶解丝首次应用于CMP中增强剪切增稠作用，从而提高材料去除率。
使用天然海藻酸钠和溶解丝，避免有毒腐蚀性抛光液，且抛光液具有生物相容性和可降解性。