偏振调谐纳米粒子阵列

激光直写柔性图案

通过偏振调制抑制等离子共振引起的吸收不均,在柔性基底上实现规则且可编程的纳米粒子阵列。

胡永祥

International Journal of Machine Tools and Manufacture 2023

技术优势

沉积偏差小

嵌入深度大

实现规则与复杂阵列的可编程制造