激光直写柔性图案
通过偏振调制抑制等离子共振引起的吸收不均,在柔性基底上实现规则且可编程的纳米粒子阵列。
胡永祥
International Journal of Machine Tools and Manufacture 2023
沉积偏差小
嵌入深度大
实现规则与复杂阵列的可编程制造