晶圆级制备
一种与硅工艺兼容的晶圆级二维材料忆阻器,采用Al/MoS2/Poly-Si结构,无需转移工艺和贵金属电极,为高密度存储提供新选择。
Kuan-Sheng, Li · Huang, Minkun · Wang, Yeong-Her · Tseng, Yuanchieh · Su, Chunjung
ACS Applied Electronic Materials 2023
ON/OFF比 1 × 10⁴
保持时间 ≥ 10⁴ 秒