激光诱导等离子体辅助烧蚀蓝宝石

刻蚀效率提升72%

通过优化牺牲靶材表面粗糙度和类型，实现蓝宝石微加工效率的显著提升和形貌控制。

温秋玲 · Chen, Jinhong · 陆静 · 穆德魁 · 姜峰

Ceramics International 2023

具体参数

靶材表面粗糙度约

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技术优势

等离子体刻蚀材料去除率比激光散焦烧蚀高72%

铁靶具有最高的刻蚀效率

硅靶具有最佳的刻蚀形貌