2英寸单晶MoS₂单层

Li, Lu; Wang, Qinqin; Wu, Fanfan; Xu, Qiaoling; Tian, Jinpeng; Huang, Zhiheng; Wang, Qinghe; Zhao, Xuan; Zhang, Qinghua; Fan, Qinkai; Li, Xiuzhen; Peng, Yalin; Zhang, Yangkun; Zhi, Aomiao; Huacong, Sun; Zhu, Mingtong; Zhu, Jundong; Lu, Nianpeng; Lu, Ying; Wang, Shuopei; Bai, Xuedong; Xu, Yang; Yang, Wei; Li, Na; Shi, Dongxia; Xian, Lede; Liu, Kaihui; Du, Luojun; Zhang, Guangyu

2英寸单晶MoS₂单层

晶圆级无缝外延

通过缓冲层控制，在商业蓝宝石衬底上实现晶圆级单晶MoS₂单层的外延生长，为二维半导体工业化铺路。

李璐 · Wang, Qinqin · Wu, Fanfan · Xu, Qiaoling · Tian, Jinpeng · Huang, Zhiheng · Wang, Qinghe · Zhao, Xuan · 张庆华 · Fan, Qinkai · 李秀珍 · Peng, Yalin · Zhang, Yangkun · Zhi, Aomiao · Huacong, Sun · Zhu, Mingtong · Zhu, Jundong · 鲁年鹏 · 陆颖 · Wang, Shuopei · 白雪冬 · Xu, Yang · 杨蔚 · 李娜 · 时东霞 · Xian, Lede · 刘开辉 · Du, Luojun · 张广宇

Nature Communications 2024

具体参数

声子圆二色性: {'zh': '~100', 'en': '~100'} %
激子谷极化: {'zh': '~70', 'en': '~70'} %
室温迁移率: {'zh': '~140', 'en': '~140'} cm² V⁻¹

技术优势

2英寸晶圆级单晶MoS₂单层

开关比~10⁹