抑制缺陷提升耐受力
对TiN底电极进行低温氮等离子改性，在不引起电极氧化的同时减少界面缺陷陷阱，从而提升铁电器件的偏压稳定性和循环耐久性。
Liu, Cunbo · Liao, Ruoyin · Chen, Hsuanhan · 郑志威 · Kuan-Hung, Su · I-Cheng, Lin · Ting-An, Liang · Ping-Yu, Lin · Chen-Hao, Wen · Hsu, Hsiaohsuan · Cheng, Chunhu · Huang, Chingchien
Materials Research Express 2024