5 μm 宽，62.8 nm 粗糙度
采用周期性降电流过生长电铸工艺，实现高表面质量和高几何精度的超窄狭缝，优于常规恒流电铸。
Xiaohong, Yang · 张新铭 · 明平美 · 王伟 · 张运艳 · Zongbin, Li · Lunxu, Li · Xiao, Youping · 郑阳
Micromachines 2023
周期性降低电流可避免沉积物过度生长，使狭缝表面粗糙度降至 62.8 nm 以下。
电流阶梯下降使得沉积层均匀生长，狭缝宽度可精确控制在 5 ± 0.1 μm。
只需在电铸过程中按设定阶段降低电流，无需复杂设备改造，即可实现超窄狭缝。