聚焦超声水导激光钻孔

微孔精度显著提升

利用高强度聚焦超声的声流与空化效应优化材料去除，显著改善碳化硅陶瓷微孔加工质量。

王进 · Xu, Wang · 任坤 · Wang, Yadi · 孙树峰 · 刘国梁

Optics and Laser Technology 2026

技术优势

精度显著提高

超声诱导的机械振荡、声流和空化效应优化了材料熔化与去除机制，从而显著提高微孔加工精度。

表面质量改善

高强度聚焦超声产生的声流和空化等效应优化了材料去除过程，使微孔表面质量显著改善。

混合作业新途径

该方法为硬脆材料高质量加工提供了新的技术途径，丰富了混合激光制造的技术手段。

应用场景

• 激光精密加工：用超声辅助解决激光加工硬脆材料的精度瓶颈。
• 陶瓷微孔加工：提升碳化硅陶瓷微孔的加工精度与表面质量。
• 硬脆材料加工：通过超声辅助优化硬脆材料的激光加工质量。
• 混合激光制造：将激光与超声能场结合，拓展混合制造能力。