自由曲面抗弹簧重力仪

μGal级芯片重力测量

采用自由曲面抗弹簧设计与光学读出，首次将MOEMS重力仪灵敏度推向μGal级别，无需高深宽比弹簧。

李鹏飞

Nature Communications 2025

参数信息

谐振频率

1.71 Hz

位移灵敏度

95 μm/Gal

处自噪声

1.1 μGal Hz⁻¹

漂移率

153 μGal/day