μGal级芯片重力测量
采用自由曲面抗弹簧设计与光学读出，首次将MOEMS重力仪灵敏度推向μGal级别，无需高深宽比弹簧。
Wu, Shuang · 王小旭 · Xiao, Qingxiong · Zhu, Qixuan · Yao, Zhongyang · 李鹏飞 · 姜潮 · 黄维 · 卢乾波
Nature Communications 2025