视觉引导光纤探针

高分辨微测

该微光纤探针结合视觉引导，专用于高深宽比结构的精密测量，分辨率优于0.1μm，同时视觉引导确保探针精确定位，测量重复性0.9μm。

Li, Wang · 陈宇鸣 · He, Zhang · Cui, Jiwen · 谭久

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

视觉引导绝对误差

9.3 μm

测量重复性

0.9 μm

光纤探针分辨率

0.1 μm

技术优势

探针更细

基于微焦准直设计，探针尺寸大幅缩小，可深入细小结构测量。

测得准

测量重复性达0.9μm，结果稳定可靠。

引导定位

视觉测量引导探针到正确测量线，并划分高低速区，兼顾精度与效率。

应用场景

• 精密测量：提供微纳级分辨率和重复性，用于精密尺寸测量。
• 微纳制造检测：检测微纳制造中高深宽比结构的几何参数。
• MEMS器件表征：表征MEMS器件的深槽、高深宽比特征。
• 高深宽比结构测量：直接测量高深宽比结构，解决传统探针难以深入的问题。