齿轮齿面对称干涉仪

光学面作测量基准

以成熟光学面替代物理基准齿面，结合对称斜入射干涉光路与平行板模型，为齿轮齿面测量提供高精度、易制造的测量基准方案。

Zhu, Xindong · Zhongqiang, Chen · 杨鹏程 · Xiaoting, Huang · Guo, Zhenyu · Chang, Zehong · Wang, Xian · 张沛

Optics and Laser Technology 2024

技术优势

基准更易制造

用光学面替代物理基准齿面，避免了制造高精度实体基准的困难。

条纹更易追踪

对称斜入射光路降低了干涉条纹密度，从而提升干涉图可追踪性。

适应非平行测量面

非平行板模型可计算测量面与基准面法线方向不同的情况，扩展了适用范围。

应用场景

• 齿轮测量：为齿轮齿面提供易制造的光学测量基准，替代物理基准齿面。
• 光学干涉计量：通过对称斜入射光路降低条纹密度，提升干涉图可追踪性。
• 精密制造检测：光学面加工精度高且成熟，可用于比较测量中的高精度基准。