偏振分束自准直仪

精度优于2.69″

用偏振分束棱镜替代原分束镜，消除背景噪声对成像定位的干扰，显著提升角度测量精度与分辨率。

Li, Renpu · Zhaoyang, Wang · Junsen, Yuan · Cui, Jiwen · Andrei, Kulikov · Konyakhin, Igor A. · 郭永瑞 · Yujia, Huo · Wen, Dandan · Di, Ke

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

测量精度（X/Y轴）

2.69 ″

分辨率

1 ″

系统测量不确定度

3.43 ″

技术优势

精度更高

消除背景噪声后，X/Y轴测量精度从原来的5.26″以内提升到优于2.69″，系统测量不确定度从5.67″降至约3.43″。

分辨率提升

系统分辨率从原来的2″提升到约1″，能分辨更微小的角度变化。

噪声消除

用偏振分束棱镜替代原分束镜并结合偏振器件，从源头抑制了背景噪声，而非事后校正。

应用场景

• 精密角度测量：提供高精度角度读数，用于精密转台、导轨等设备的角位置检测。
• 仪器标定：作为角度基准校准其他测角仪器，溯源至更高精度标准。
• 机械装配对准：在机械装配中检测并校正零部件间的微小角度偏差。
• 微纳制造对准：为微纳制造中的光刻、键合等工艺提供精确的角度对准。