TDTR纳米金属薄膜热测量

同时测跨平面热导率与界面热导

改进的TDTR技术可同时测量薄膜跨平面热导率和界面热导率，尤其适用于低热扩散率衬底上的纳米金属薄膜。

Zeng, Yantao · 李林安 · 王世斌 · 孙方远 · 王智勇 · Tu, Xinhao · 李传崴

International Journal of Heat and Mass Transfer 2024

技术优势

同时测量Al膜、Cr膜和SiO2衬底的跨平面热导率以及Al/Cr和Cr/SiO2界面的界面热导率

Al/Cr界面热导率远大于Cr/SiO2界面热导率

Al膜和Cr膜的跨平面热导率远小于其对应的体材料值

通过蒙特卡洛方法分析了测量参数的不确定度并获得了相应的误差范围