多维振动微铣削
通过柔性解耦机构实现1至3自由度振动，为微铣削提供高精度多维振动辅助。
Song, Bowen · 景秀并 · 王福军 · 张大卫 · Li, Huaizhong · 陈云
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2024
载物台包含1自由度、2自由度和3自由度的柔性机构，用户可以根据不同铣削技术的需求灵活选择，无需更换整个系统。
不同自由度的载物台分别采用专门的解耦机构，如圆角和拱形铰链，有效降低输出端的耦合位移，从而在1自由度振动中实现了1.72%的低耦合误差。
铣削实验成功加工出规则排列的微米级纹理，表明载物台在多维振动辅助微铣削中具有良好的性能，能够满足功能表面的制造需求。