灵敏度翻倍
通过凹槽结构和双通道解耦，在宽温度范围内实现高精度应变测量，优于传统传感器。
Yuanhang, Qu · Chen, Xiang · 刘岩 · 汪胜祥 · Zhiwei, Wen · Ding, Jiaqi · Xiyu, Gu · Yao, Cai · 吴国强 · 孙成亮
Sensors and Actuators, A: Physical 2026
基底减薄至200 μm，应变灵敏度达到194 Hz/με，是常规未减薄传感器的两倍以上。
两个通道分别沿波长和孔径方向布置，应变引起相反的频移，温度则同向变化，通过解耦矩阵实现高精度实时分离。
在0–500 με和室温至80 ℃范围内，应变误差仅7.5 με（RMSE），温度误差0.21 ℃，满足精密监测需求。
声表面波传感器本身无源，可通过无线方式读取频率信号，无需电源和引线，适合嵌入式监测。