涡流阻尼微纳探针

稳定时间减9成

引入涡流阻尼器解决低刚度探针稳定时间长、动态误差大的难题，保持低接触力的同时实现快速响应，适用于微纳坐标测量机的高精度高效测量。

Yi, Shen · Ma, Shaohua · Yu-Wei, Liu · 程真英 · 潘巧生 · 李瑞君

IEEE Sensors Journal 2025

参数信息

平均水平刚度

0.711 mN/μm

垂直刚度

0.258 mN/μm

稳定时间

1.0 s

技术优势

稳定时间大幅缩短

涡流阻尼器提供与速度成正比的阻尼力，不改变静刚度却有效耗散振动能量，稳定时间降至 1.0 s 以内。

低接触力不受影响

优化后探针刚度几乎不变，平均水平刚度 0.711 mN/μm、垂直 0.258 mN/μm，因此测量时接触力保持低水平，适合易损微结构。

动态误差更小

阻尼抑制了探针逼近被测表面时的振荡，配合快速稳定特性，减少了扫描过程中的动态测量误差。

应用场景

• 微纳坐标测量机：直接替换现有低刚度探针，缩短整机测量节拍。
• 精密零部件检测：兼顾低接触力与快速稳定，适合微结构高密度检测。
• 精密机械测量：减小动态误差，提升微小尺寸测量重复性。