λ/100面形精度
腔长无关的相移干涉测量方案，以更少采样帧数实现高精度面形检测。
Yifan, Ding · 陆奇 · 刘世杰 · Zhang, Xu · 陈大鹏 · 邵建达
Optics and Lasers in Engineering 2024
MAPSI通过调整波长调谐和采用多尺度分析，避免了对严格干涉腔长的依赖，从而简化测量设置、提高灵活性。
实现λ/100的PV精度时，所需干涉图采样帧数少于傅里叶变换相移干涉法，能够加快测量流程。
通过多尺度分析实现精确的频率采样和增强的相位提取，有效抑制谐波误差，提升测量可靠性。