准间歇振动摆动切割装置

抑制周期性残留

采用X形柔性铰链实现运动解耦,有效抑制相邻路径间的残留痕迹,提升加工表面质量。

Du, Yongsheng · Mingming, Lu · 林洁琼 · Zhu, Zhimin · 高强

Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture 2023

参数信息

运动轴最大耦合比
1.65 %
最大运动行程
19.943 μm
最小分辨率
9.55 nm

技术优势

抑制周期性残留

通过准间歇振动摆动策略,避免椭圆轨迹带来的规律性残留,提升表面质量。

运动轴解耦

X形柔性铰链抑制两驱动轴间的相互干扰,实现运动解耦,保证轨迹精准。

高运动分辨率

最小分辨率达 9.55 nm,满足精密加工对微位移的严格要求。

应用场景