离焦光栅传感器

亚角秒精度

通过离焦象限光电探测器模型和粗精结合算法,首次实现大范围下平面外姿态的高精度同时测量。

Linbin, Luo · 73642135 · Wang, Shengtong · 李星辉

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

角度分辨率
0.04 ″
位移分辨率
50 nm

技术优势

测量范围扩大

通过离焦模型,光栅传感器的测量范围显著扩大,能够覆盖大角度和位移范围,满足大行程系统的监测需求。

精度显著提高

提出的高精度光斑定位算法显著提升了粗精结合方法的测量精度,使传感器分辨率优于0.04″和50 nm。

首次实现同时测量

首次提出基于离焦象限光电探测器模型的高精度光斑定位算法和数学模型,实现大范围下平面外多自由度姿态的同时测量。

应用场景