双级联光弹调制椭偏仪

毫秒级高灵敏测量

利用双级联光弹性调制器的多谐波项，在单块FPGA内完成实时校准与控制，实现快速且高灵敏度的椭偏测量。

李克武 · Wang, Shuang · 王黎明 · Shiwei, Deng · 王志斌

Optics and Lasers in Engineering 2024

参数信息

灵敏度

10⁻³ °

技术优势

灵敏度高

200 ms积分下重复性和灵敏度可达10⁻³ °，满足薄膜在线检测对微小变化的分辨需求。

自带实时校准

利用多谐波项在FPGA内同时完成PEM的实时校准与控制，系统无需停机即可保持长期稳定。

应用场景

• 薄膜在线检测：用于镀膜、电子封装等产线上实时测厚与光学常数，毫秒级响应满足在线节拍。
• 生物传感：在生物分子吸附或反应过程中快速、无损地获取表面膜厚与结构变化信号。
• 微电子制造：在晶圆制造中在线测量薄膜厚度和光学参数，避免工艺波动影响器件性能。
• 纳米材料表征：对纳米薄膜或二维材料的光学性质进行快速无损表征，分辨微小光学变化。