音圈电机主动测头

平均接触力降60%

用模糊阻抗控制实时调节探针刚度,把接触力波动压到传统方法的十分之一,测软质表面不再划伤。

Zhiqiang, Feng · Wang Z. · Ruiyang, Luo · 胡楚雄 · 朱煜

Control Engineering Practice 2026

参数信息

有效行程
± 3 mm
位移分辨率
0.5 μm
平均接触力降低
60 %
最大接触力降低
75 %
接触力方差比
0.1

技术优势

不划伤样品

接触力方差只有传统方法的十分之一,力更平稳,涂层和低刚度样品不再受损。

适应不同工件

模糊阻抗控制根据实时刚度估计自动调整参数,面对不同测量对象都能保持精度。

接触力降六成

平均接触力比传统阻抗控制低60%,测头对样品的作用更轻柔。

峰值力大减

最大接触力降低75%,大幅削弱冲击性载荷,保护敏感表面。

应用场景