三自由度压电驱动器

纳米级定位

采用空间柔顺机构实现三轴解耦运动，配合逆滞环补偿将开环定位精度显著提升，位移分辨率达15/16/21 nm。

Fenglong, Wei · Wang, Xueliang · 董景石 · Guo, Kang · Yongxin, Sui

Review of Scientific Instruments 2023

参数信息

X轴行程范围
-7.1 to 5.6 μm
Y轴行程范围
-6.2 to 8.2 μm
Z轴行程范围
-2.3 to 2.1 μm
位移分辨率
15/16/21 nm
平均速度（X轴）
52.3 μm/s
平均速度（Y轴）
82.8 μm/s
平均速度（Z轴）
29.5 μm/s
开环圆轨迹定位精度
0.23 μm

技术优势

三轴解耦，互不干扰

空间柔顺机构引导各轴运动并预紧压电叠堆，三轴输出相互独立，无需复杂的解耦控制算法即可获得稳定的空间轨迹。

开环精度大幅提升

通过逆滞环补偿生成驱动波形，开环圆轨迹定位误差从0.94 μm降至0.23 μm，无需闭环反馈即可满足许多对准任务的要求。

载重达2 kg仍能高速驱动

在500 Hz驱动频率、载重2 kg工况下，Y轴平均速度达82.8 μm/s，表明驱动器可胜任较重负载元件的快速调整。

应用场景