异质谐振磁场传感器

温度不敏感

通过蓝宝石温度补偿层与磁致伸缩敏感元件的异质集成，在宽温区内显著抑制谐振频率的温度漂移，同时保持高灵敏度和高分辨率。

黄子俊 · 卞雷祥 · Xu, Zhan · Zhang, Yuntao

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

温度系数

0.47 Hz/°C

灵敏度

5.63 Hz/Oe

分辨率

42 μOe

分辨率(等效磁通密度)

4.2 nT

蓝宝石衬底厚度

0.45 mm

技术优势

温漂降为1/18

TCF从8.73 Hz/°C降到0.47 Hz/°C，温度变化对频率的影响缩小到原来的5%左右。

无需额外补偿

通过结构设计中的热应力抵消，无需外部温度补偿电路即可保持频率稳定。

灵敏度分辨率兼得

在实现低温漂的同时，线性区仍保持5.63 Hz/Oe灵敏度和42 μOe分辨率。

应用场景

• 精密磁场探测：在温度波动环境下保持低漂移，提升测量精度。
• 磁传感：提供高灵敏度、高分辨率的频率输出，便于数字化。
• 物联网传感节点：低功耗谐振输出，无需复杂温度补偿，适合节点集成。
• 航空磁场测量：宽温区稳定工作，满足航空环境温度变化要求。