双分支并联压电换能器

高频键合精准可控

一种高频双分支并联结构的压电超声换能器，其振动轨迹高度可控，适用于热超声引线键合，阻抗模型预测精度高，可根据几何参数逆向设计。

Xinyue, Gao · 张宏杰 · Jia, C. M. · Junqiang, Wu

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

谐振频率偏差（相对设计目标）

0.09 %

技术优势

频率精度达0.09%

阻抗模型计算得到的谐振频率与设计目标偏差仅为0.09%，意味着根据几何参数设计换能器时可以一次命中目标频率，无需反复试制。

振动轨迹高度可控

在正弦激励下，换能器工作端可呈现直线、椭圆和矩形振动轨迹，且与理论预测和仿真结果密切匹配，用户可按需选择键合轨迹。

应用场景

• 电子封装：为芯片与基板间的细线键合提供高频超声能量，确保焊点一致性。
• 引线键合：通过多种可控振动轨迹适应不同粗细的引线键合工艺，提高键合强度。
• 超声换能器：取代多支单频换能器，一支即可覆盖多种振动模式，简化设备结构。