灵敏度超8000 nm/Pa
用低杨氏模量的PET薄膜代替不锈钢悬臂，大幅提升高频弱声探测灵敏度，同时成本低、抗电磁干扰。
Wu, Guojie · Zhang, Xinyu · Zhenfeng, Gong · 陶鹏程 · 彭伟 · 于清旭 · 梅亮
IEEE Sensors Journal 2024
PET悬臂的杨氏模量比不锈钢低约40倍，相同声压下形变更大，因此灵敏度显著提高。
在3300 Hz处等效噪声声压仅为2.48 μPa/Hz^1/2，可分辨极微弱的声信号。
用激光打标机即可加工PET悬臂，无需复杂工艺或不锈钢精密加工。
光纤传感原理使其对电磁干扰具有很强的抵抗力，适合恶劣电磁环境。