椭圆振动凿刻微结构

纵横比提升40倍

该工艺能在金属表面高效加工出超高纵横比的直立微结构，突破现有技术极限。

Li, Zhiwei · Zhang J. · 郑中鹏 · Feng P. · Dingwen, Yu · 王健健

International Journal of Extreme Manufacturing 2024

参数信息

微结构间距
1-10 μm
微结构深宽比
2-5
深宽比提升
40 ×
工具振动频率
1 kHz

技术优势

深宽比提升40倍

与传统前向运动椭圆振动切割相比，EV-chiseling 通过工具反向运动使切屑直立留在表面，而非被推走形成短小切屑，从而显著提高微结构深宽比。

加工效率极高

每个振动周期生成一个微结构，搭配超过 1 kHz 的超快工具振动频率，可实现高速大面积织构化。

无需复杂光刻

该工艺基于切削，不需要掩模、光刻或昂贵设备，在普通精密机床上即可实现，降低了成本。

应用场景