石英摆片

高精度低残留应力

用皮秒激光改性辅助湿法刻蚀取代传统加工，一次获得高尺寸精度、好边缘质量和低残余应力的石英摆片，适合加速度计核心部件。

任云鹏 · Cheng, Li · Xincheng, Tu · He, Kun · Ye Y. · 陶宇峰 · Ren X.

Optics and Laser Technology 2023

技术优势

边缘质量高

皮秒激光改性后的区域在湿法刻蚀中被选择性去除，避免了传统机械加工产生的微裂纹和崩边。

残余应力低

加工过程以化学刻蚀为主，不引入机械应力，保证了石英摆片后期性能的稳定性。

成本更低

相比传统方法，该技术降低了生产成本，使石英摆片的制造更具经济性。

应用场景

• 精密传感器制造：用在加速度计核心零件上，提高加工精度和一致性。
• 惯性测量组件：提供高质量石英摆片，增强惯性测量组件的可靠性。
• 微机械加工：结合激光改性和湿法刻蚀，实现微结构的精密成形。
• 石英器件加工：为石英器件提供高精度低损伤的加工途径。