压电输出提升30%
在PZT薄膜上一步形成纳米凸起等可控三维结构，无需掩模，显著增强对外部压力脉冲的压电响应。
范丽莎 · Lei, Ran · Zhang, Shuowen · Wu, Lin · Tingbin, Wang · 王永骥 · 潘军 · 鲁金忠 · 姚建华 · 吴化平
ACS Applied Materials & Interfaces 2024
450 nm高纳米凸起图案化PZT薄膜的输出电压比平坦PZT薄膜高出30%，直接提升压力传感灵敏度。
利用飞秒激光诱导压应力使薄膜隆起，形成各种纳米结构，无需掩模，适合大规模和快速制备。
通过精细调节激光能量密度在烧蚀阈值附近，可以高度可重复地控制纳米结构的三维轮廓。
在降雨监测测试中，450 nm高纳米凸起图案化PZT薄膜对不同雨滴体积和下落频率表现出显著增强的响应。