精密垂直平面台

补偿后误差13.5 μm

一种能按程序生成任意平面轨迹、用于面型传感器现场精度校准的垂直工作台。

Zhang, Jiyun · 娄志峰 · Fan, Kuangchao · Han-Ping, Zhang · Jingjie, Zhou

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2023

参数信息

最大空间定位误差（补偿后）

13.5 μm

精度提升

89.1 %

技术优势

误差补偿有效

通过矢量传递法建立误差模型，补偿后最大空间定位误差大幅降低。

可编程生成轨迹

通过计算机程序即可生成任意形状的平面轨迹，无需更换标准器。

六自由度同步测量

新提出的六自由度测量系统能同时测量直线轴全部几何误差，提高实时运动精度。

应用场景

• 面型传感器校准：用它生成已知面型轨迹，当场校准面型传感器。
• 微纳测量：提供高精度参考运动，用于微纳尺度测量。
• 精密机械：作为精密运动平台，验证机械系统定位能力。