横向共焦深孔检测装置
6 mm 深孔测形位
以横向共焦位移传感结合螺旋轨迹，实现对6 mm小直径深孔形状与位置误差的非接触高精度测量，解决了传统接触式探针的刚性与划伤难题。
刘瑶
Sensors 2025
参数信息
直线度标准差
≤0.0008 mm
圆柱度标准差
≤0.0064 mm
圆柱度评价误差降低
4.6 %
直线度评价误差降低
4.5 %