机器人OCT检测系统

不拆卡读存储

无需破坏绝缘层，机器人辅助光学相干断层扫描直接透视单片存储器件内部，让数据恢复从破坏性拆卸变为精准可视化操作。

张钰民 · Zhao, Lu · Sun, Zhenwen · Hu, Xiyuan · Kang, Yanrong · Wang, Lei · Zhihui, Li · 黄巍 · Li, Zhigang · Hua, Feng · 王成名 · 薛平 · 张宁

Nature Communications 2023

参数信息

横向分辨率

~7 μm

轴向分辨率

~4 μm

自动体积成像时间（micro-SD卡）

~37 s

激光烧蚀精度

±10 μm

激光烧蚀准确度

~50 μm

技术优势

不用拆卡

通过OCT直接透视内部结构，无需移除绝缘层，避免破坏性拆卸。

扫描快得多

连续扫描策略使micro-SD卡自动体积成像仅需约37秒，而传统stop-and-stare扫描通常需要数十分钟。

精准去除

激光烧蚀精度达±10 μm，准确度约50 μm，可去除特定区域而无需人工干预。

应用场景

• 精密检测：用非破坏性OCT成像精准定位内部缺陷，无需拆解器件。
• 存储器件失效分析：直接可视化存储芯片内部结构，判断失效原因而非依靠电学猜测。
• 自动化检测：机械臂自动扫描实现快速体积成像，减少人工操作时间。
• 机器人辅助制造：机械臂定位激光烧蚀，以微米级精度执行选择性材料去除。