等离子气泡微穹顶

一步写三维微结构

利用等离子体气泡作为模板,在硝酸铁溶液中激光直写出固态微穹顶结构,为三维微加工提供新途径。

Lihua, Dong · Fulong, Wang · Chen, Buyun · Xia, Chenliang · Pengwei, Zhu · 通知 · Huimin, Wang · 王玉亮

Surfaces and Interfaces 2023

参数信息

微穹顶半径生长指数
1/3

技术优势

设备简单

整个加工只需普通连续激光和硝酸铁溶液,无需昂贵光刻系统。

一步成型

等离子体气泡直接充当模板,从边缘到微壳再到完全固化,全程连续完成。

可解释生长

微穹顶半径随时间呈现明确的 R_d ∝ t^(1/3) 关系,可通过理论定量解释,便于工艺控制。

应用场景