一步写三维微结构
利用等离子体气泡作为模板,在硝酸铁溶液中激光直写出固态微穹顶结构,为三维微加工提供新途径。
Lihua, Dong · Fulong, Wang · Chen, Buyun · Xia, Chenliang · Pengwei, Zhu · 通知 · Huimin, Wang · 王玉亮
Surfaces and Interfaces 2023
整个加工只需普通连续激光和硝酸铁溶液,无需昂贵光刻系统。
等离子体气泡直接充当模板,从边缘到微壳再到完全固化,全程连续完成。
微穹顶半径随时间呈现明确的 R_d ∝ t^(1/3) 关系,可通过理论定量解释,便于工艺控制。