尺蠖式压电旋转马达

步进一致性93%

通过柔性软接触与两级顺应刚度设计，在不同频率下保持高步进一致性，几乎消除振动与摩擦滑动。

Jia, Yingjie · Wei, Yuzhang · 汤晖 · 陈新 · Yang, Zhixin · 田延岭

Precision Engineering 2025

参数信息

步进一致性

93 %

分辨率

3.3 μrad

速度

42.81 mrad/s

负载能力

2 kg

技术优势

步进几乎不丢

两级顺应接触刚度被动抑制接触振动，驱动信号按滑动边界条件优化，双管齐下使步进一致性达 93%。

换频率不用重调

马达可在不同频率下连续工作而无需重新调整初始间隙，便于变工况应用。

能扛 2 kg 负载

原型机在保持微弧度分辨率的同时具备 2 kg 负载能力，适用于有承载需求的精密定位场景。

应用场景

• 微纳对准平台：替代传统丝杠或直线电机，在微纳对准中提供无回程差的高分辨率旋转。
• 半导体制造设备：用于晶圆对准或光刻定位，避免摩擦滑动带来的颗粒污染和精度损失。
• 显微镜载物台：驱动显微镜载物台旋转，提供平稳无振动的微弧度调节。
• 精密仪器：作为精密仪器内部旋转执行器，保证长期步进一致性。
• 微操作机器人：为微操作机器人提供高分辨率腕部或关节旋转，避免回退造成定位误差。