质量可调谐振
通过调整质量降低谐振频率,实现低频驱动,提升压电驱动器的精确定位能力。
李晓韬 · Xiangyou, Peng · Shengjiang, Wang · Kaixi, Guo · 田凤军 · Guan, Xu
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2023