DLC脱模层

低粘附抗变形

作为X射线反射镜电铸脱模层,DLC释放层以极低粘附强度代替传统NiP-Au界面,显著降低脱模过程中的镜面变形。

Liao, Qiuyan · 王博 · 丁飞 · 李铎 · Liu, Wenyu · 王蕾 · 杨彦佶 · 陈勇

Journal of Materials Research and Technology 2023

参数信息

粘附强度降低幅度
96.4 %
DLC释放层厚度
20 nm

技术优势

粘附强度降96.4%

DLC与Au的界面粘附强度远低于Au-NiP,从根源上降低脱模阻力,显著减小镜面变形。

20 nm即可见效

仅20 nm厚的DLC层即能显著降低脱模变形,并已在实际项目中成功应用,厚度薄、工艺兼容性好。

机理明确

首次直接观察到Au/NiP界面6.8 nm扩散层,证明高粘附源于该扩散层,为设计低粘附界面提供依据。

应用场景