低粘附抗变形
作为X射线反射镜电铸脱模层,DLC释放层以极低粘附强度代替传统NiP-Au界面,显著降低脱模过程中的镜面变形。
Liao, Qiuyan · 王博 · 丁飞 · 李铎 · Liu, Wenyu · 王蕾 · 杨彦佶 · 陈勇
Journal of Materials Research and Technology 2023
DLC与Au的界面粘附强度远低于Au-NiP,从根源上降低脱模阻力,显著减小镜面变形。
仅20 nm厚的DLC层即能显著降低脱模变形,并已在实际项目中成功应用,厚度薄、工艺兼容性好。
首次直接观察到Au/NiP界面6.8 nm扩散层,证明高粘附源于该扩散层,为设计低粘附界面提供依据。