温度补偿显微视觉定位系统

该系统在传统相机自热补偿基础上，首次考虑光源热效应对目标表面膨胀的影响，结合仿射变换模型实现温度补偿，从而大幅降低定位测量中的漂移误差。

Zhu, Zijian · Zhao, Chenyang · Duanyi, Liu · 姚英学

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

定位精度

0.8331 μm

漂移误差

1 pixel

技术优势

精度提升近三倍

在100 mm行程定位测量中，精度从2.3229 μm提高到0.8331 μm。

大幅抑制漂移

漂移误差从8.2像素降至1像素以下，减少约88%。

补偿光源热效应

传统方法忽视光源热效应，本方法通过仿射变换模型同时补偿相机自热和光源引起的目标膨胀。

应用场景

• 精密定位测量：提供大范围纳米级定位，精度达0.8 μm。
• 纳米计量：在100 mm行程内实现亚微米级精度溯源。
• 显微视觉系统：补偿相机自热和光源热效应，稳定成像。
• 精密运动控制：降低热漂移对闭环运动控制的干扰。