高灵敏三维直流电场测量仪

灵敏度提升4.64倍

通过内凸封装盖和集成无线传输设计，在保持高灵敏度的同时消除了地电位影响，并适应高湿环境。

Yang, Pengfei · 闻小龙 · Chu, Zhaozhi · 彭春荣

Micromachines 2025

参数信息

灵敏度提升倍数
4.64
最大相对偏差
2.2 %
高湿条件下线性度
1 %
单轴分辨率
10 V/m

技术优势

灵敏度大幅领先

通过内凸封装盖增强感应电场，实测灵敏度至少为此前报道最高值的4.64倍。

抗振动干扰强

屏蔽电极与感应电极采用刚性框架结合短条状梁的结构，提高芯片的振动稳定性。

消除地电位影响

一体化设计配合无线传输，使检测结果不再受地电位干扰。

高湿环境依然准确

高湿条件下线性度保持在1%以内，环境适应性强。

应用场景